f系列质量流量计仅用于测量气体的质量流量。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。 f系列质量流量计用于测量气体的质量流量，其测量值不因压力或温度的波动而失准，不需要进行压力和温度修正。对于一般的体积流量计（如转子流量计），在相同的体积流量指示下，当压力、温度改变时，其实际克分子流量会发生较大变化，而f系列质量流量计则基本不受影响。
质量流量控制器不仅能测量气体的流量，具备流量计的功能，而且它还能控制流量，它本身具有检测控制电路和流量调节阀，是一个闭环控制单元。用户可以根据需要在量程范围内任意给定流量设定值，mfc会自动跟踪设定值而改变流量并稳定在设定值上。如果希望定量地获得流量，要求流量保持恒定或根据需要而动态改变，或需要自动测量 和控制流量，则质量流量控制器是z佳的选择。
气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位规定为:sccm---标准毫升/分,slm---标准升/分标准状态指：温度—0℃,气压—101325pa(760mmhg)。因为在标准状态下，气体的密度是一个常数，密度乘以体积流量就等于质量流量，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。f系列质量流量计和质量流量控制器在使用过程中，无论工作气体的温度、压力如何变化，它所显示的流量总是标准状态下的体积流量。这是f系列质量流量计的主要优点。